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金属材料钽的应用

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钽靶材通常称为裸靶,首先将其与铜背靶进行焊接,然后进行半导体或光学溅射,将钽原子以氧化物形成淀积在基板材料上,实现溅射镀膜;在半导体工业中,目前主要使用金属钽(Ta)通过物理气相沉积(PVD)镀膜并形成阻挡层作为靶材。

众所周知,虽然金属钽性能比较稳定,但是粒径比较细的金属钽粉末却比较活泼,在常温下与氧、氮等反应,使钽粉中氧、氮等杂质含量提高。为了得到高品质的钽靶,必须首先降低钽粉中的杂质含量,提高钽粉的纯度。降低钽粉的粒径对于提高钽粉和钽靶的品质是非常必要的。

钽靶材主要应用于半导体镀膜、光学镀膜、装饰,平板显示器,功能性镀膜,以及其他光学信息存储空间行业,汽车玻璃和建筑玻璃等玻璃镀膜行业,光通信等。

半导体类

使用物理气相沉积(PVD)工艺,将钽溅射靶材“溅射”到半导体衬底上,以形成薄膜扩散势垒来保护铜互连。钽溅射靶材还用于多种其他产品,包括磁存储介质,喷墨打印机头和平板显示器。

发动机涡轮叶片

高熔点和耐腐蚀性能使其非常适合合金化应用。钽用于镍基高温合金,主要用途是飞机发动机的涡轮叶片和陆基燃气轮机。

化学加工设备

具有极高的耐腐蚀和高温性能,使该金属成为化学和制药行业中容器,管道,阀门和热交换器衬里的理想构造材料。



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