半导体行业进入我国后,给我国带来了巨大的经济利益,刺激了我国对半导体产业的需求,但是它同时带给我国的环境问题也是不容忽视的。半导体工业在生产过程中会产生大量的废水,其中,含氟废水对环境影响很大,因此,含氟废水的处理是半导体生产过程中的重要环节。
含氟废水主要来自计算机电路制造、电视显像管、太阳能电池、印刷电路板、有色金属和稀土金属冶炼。目前,国内外处理含氟半导体废水的常用方法有沉淀法、离子交换法、溶剂萃取分离法、膜分离法和吸附法,其中,膜分离法是一种较好的含氟半导体切割废水深度处理方法。
膜分离技术具有能耗低、无相变、无污染、分离效率高、浓缩倍数高等优点。电镀液洗涤水通过适当的膜分离浓缩,浓缩倍数可达倍(体积)。经过适当处理,膜分离后的浓溶液达到一定的镍离子浓度,返回电解槽,即回收镍。膜系统的渗透液即纯水可直接返回电镀零件清洗槽,从而实现含氟半导体废水处理的近零排放。
因此,将膜分离技术应用于含氟半导体废水回用,既不会造成二次污染,又能回收废水中的有害重金属,变废为宝,实现水资源的再利用。含氟半导体废水处理技术能有效去除废水(
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