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铬靶材具有与金属铬(Cr)相同的性能。铬靶材是一种钢灰色、有光泽、坚硬和脆性的过渡金属。在真空中,铬靶材可以产生相对稳定的铬离子束,这使得它可以用于制作衬底或者表面涂层,用以保护基材或者制作一些特别需要高氧化抗性的工业零件。铬靶材也可用于制备铬化合物化学计量比的研究。
铬靶材形状:平面靶异型定制
铬靶材纯度:2N5,3N,3N5
铬靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制
铬靶材制备工艺将粒度为60目-目和粒度为目-目的金属铬粉混合均匀,烘干备用,粒度为60目-目的金属铬粉与粒度为目-目的金属铬粉的质量比为5:3,9:2;
将混合的金属铬粉加入到冷压模具内,用Mpa-Mpa压力冷压成型,保压1s-s,压制为所需尺寸实心圆柱体的铬靶材坯料;
用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆,装入热压模具内,入炉;
抽真空至O-15pa,升温至°C-°C,保温10min-30min,继续升温至°C-°C,停止加热,启动热压设施,对正热压设施的上下压头,对铬靶材坯料8Mpa-12Mpa压力下预热压60s-90s;关闭热压设施,继续升温至1°C-1°C,保温30min-min;再启动热压设施,用20Mpa-10Mpa压力热压成型,保压1min-10min,降温至°C后出炉,得到铬靶材。
该制备方法工艺简单,操作方便,对环境友好,产品成品率高,实现了工业化生产。上图是铬靶材典型的显微金相检测图片,平均粒径um。
铬靶材应用
铬靶在汽车工业中有很大的应用领域。为了在车轮和保险杠上形成光亮的涂层,铬靶是很好的材料。如汽车玻璃涂层,也可使用铬溅射靶;
铬具有很高的耐腐蚀性,这一特性使得铬靶适合于获得耐腐蚀涂层;
在工业中,通过铬靶获得的硬质材料涂层可最佳地保护发动机部件(如活塞环)免受过早磨损,从而延长重要发动机部件的使用寿命;
铬靶材也可用于光伏电池制造和电池制造。
总之,铬溅射靶材被用于许多领域,电子元件、显示器和工具的物理沉积薄膜和功能涂层(PVD方法);手表、家用电器零件、液压缸、滑阀、活塞杆、有色玻璃、镜子、汽车零件和配件以及其他机器和设备的真空镀铬。
金属铬其他应用
金属铬主要用于多种合金的生产原料,广泛用于化工、汽车、造船、航空、核反应堆、军工等行业。工业生产的金属铬主要采用铝热法铬和电解铬法两种方式,产品为片状或块状,而铬靶材是由纯铬粉制成的铬制品,常作为表面覆膜改性处理工艺的蒸发源,广泛应用于锁具和五金工具、灯具、汽摩装饰条和车镜、卫浴水龙头、机械刀具领域和IT产品壳体和按键,但金属铬具有熔点高、与氧亲和力强、活性大的特点,因此在制备铬制品时比较困难。
铬靶材合金系列
除铬靶材外,我们还可以提供铬铝合金、镍铬合金、钒铬合金、铜铬合金、铁铬铝合金等溅射靶材。